第三代半导体生产工艺规划和建设要点分析
2025.12.16点击：
摘要：阐述工艺流程与厂房设计优化相结合的方法，详细规划了第三代半导体的生产工艺流程，并对生产设备的选择与布局进行优化，同时设计了符合高洁净度和高可靠性要求的厂房结构。
关键词： 第三代半导体;生产工艺;设备布局和优化;高洁净度;
专辑： 信息科技
专题： 无线电电子学
分类号： TN305
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