氮化铝压电薄膜的制备技术综述
2026.06.03点击：
摘要：阐述氮化铝压电薄膜的主要制备技术特点，探讨提升薄膜性能的关键策略，总结其在射频滤波器、压力传感器、能量收集器中的应用研究进展。
关键词： 氮化铝;薄膜性能;射频滤波器;
专辑： 信息科技;工程科技Ⅰ辑;工程科技Ⅱ辑
专题： 材料科学;工业通用技术及设备
分类号： TB383.2
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摘要：阐述氮化铝压电薄膜的主要制备技术特点，探讨提升薄膜性能的关键策略，总结其在射频滤波器、压力传感器、能量收集器中的应用研究进展。
关键词： 氮化铝;薄膜性能;射频滤波器;
专辑： 信息科技;工程科技Ⅰ辑;工程科技Ⅱ辑
专题： 材料科学;工业通用技术及设备
分类号： TB383.2