光电探测器C极导通异常故障的分析
2025.10.26点击：
摘要：阐述针对某光电探测器在高低温实验中C电极导通异常问题，开展故障排查定位，并对失效机理进行分析。分析发现，在接触孔刻蚀过程底切效应出现底部钻蚀，湿法腐蚀返工导致过钻蚀，金属淀积中受自掩蔽效应影响，在接触孔台阶处出现裂缝，仅局部区域单点或多点接触，低温时金属收缩，仅存的接触通道脱开连接，导致输出异常，高温大电流下，电迁移使得接触面增大，器件恢复正常。
关键词： 光电探测器;失效机理;底切效应;电迁移;
专辑： 信息科技
专题： 无线电电子学
分类号： TN15
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